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发明名称 STRUCTURE AND METHOD FOR CONTACTS IN CMOS DEVICES
摘要
申请公布号 US5164340(A) 申请公布日期 1992.11.17
申请号 US19910719791 申请日期 1991.06.24
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC 发明人 CHEN, FUSEN;BRYANT, FRANK R.;DIXIT, GIRISH
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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