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发明名称
MIKROMINIATURISIERTE ELEKTROSTATISCHE PUMPE.
摘要
申请公布号
AT82088(T)
申请公布日期
1992.11.15
申请号
AT19900906189T
申请日期
1990.04.17
申请人
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人
RICHTER, AXEL;SANDMEIER, HERRMANN
分类号
B05B5/025;B05B5/16;F04D33/00;F28D15/02;H01J;H01J41/18;H01J49/18;H02N11/00;(IPC1-7):H01J41/18
主分类号
B05B5/025
代理机构
代理人
主权项
地址
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