发明名称 MIKROMINIATURISIERTE ELEKTROSTATISCHE PUMPE.
摘要
申请公布号 AT82088(T) 申请公布日期 1992.11.15
申请号 AT19900906189T 申请日期 1990.04.17
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 RICHTER, AXEL;SANDMEIER, HERRMANN
分类号 B05B5/025;B05B5/16;F04D33/00;F28D15/02;H01J;H01J41/18;H01J49/18;H02N11/00;(IPC1-7):H01J41/18 主分类号 B05B5/025
代理机构 代理人
主权项
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