发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04323828(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910092515 申请日期 1991.04.24
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 MURASE HIROSHI
分类号 H01L21/027;H01L21/312 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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