| 发明名称 |
MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04323872(A) |
申请公布日期 |
1992.11.13 |
| 申请号 |
JP19910092251 |
申请日期 |
1991.04.23 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
ONISHI TAKASHI;YAMAMOTO MASATAKE |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L29/40;H01L29/43;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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