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发明名称
FORMATION OF RESISTANCE
摘要
申请公布号
JPH04324672(A)
申请公布日期
1992.11.13
申请号
JP19910122102
申请日期
1991.04.24
申请人
YAMAHA CORP
发明人
ISHIDA KATSUHIKO
分类号
H01L21/28;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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