| 发明名称 |
PERFORMANCE EVALUATION OF METAL WIRING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04324656(A) |
申请公布日期 |
1992.11.13 |
| 申请号 |
JP19910094353 |
申请日期 |
1991.04.24 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
NAKAGAWA TOSHIAKI;MIYATAKE HISAKAZU |
| 分类号 |
G01N3/40;G01N33/20;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52 |
主分类号 |
G01N3/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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