发明名称 ION NEUTRALIZING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04324238(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910092322 申请日期 1991.04.23
申请人 EBARA CORP 发明人 NAGAI KAZUTOSHI;SATAKE TORU;HAYASHI HIDEAKI;HATADA YOSHIO
分类号 C23C14/48;G21K1/14;H01J27/20;H01J37/08 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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