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发明名称
RESIST COATING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04324925(A)
申请公布日期
1992.11.13
申请号
JP19910094625
申请日期
1991.04.25
申请人
NEC CORP
发明人
YAMASHITA HIROMI
分类号
B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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