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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF DIFFRACTION GRATING
摘要
申请公布号
JPH04324401(A)
申请公布日期
1992.11.13
申请号
JP19910094518
申请日期
1991.04.25
申请人
SHIMADZU CORP
发明人
NAGANO TETSUYA;KOEDA MASARU
分类号
G02B5/18;H01L21/302
主分类号
G02B5/18
代理机构
代理人
主权项
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