发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04324636(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910119106 申请日期 1991.04.24
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 NOGAMI TAKESHI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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