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发明名称
APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE IN VACUUM DEPOSITION CHAMBER
摘要
申请公布号
KR1019920010061(B1)
申请公布日期
1992.11.13
申请号
KR1019890004940
申请日期
1989.04.14
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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