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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04324655(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910094174 申请日期 1991.04.24
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NISHIKAWA SATORU
分类号 H01L21/285;H01L21/66 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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