发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04323832(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910122616 申请日期 1991.04.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SUDA KAKUTAROU;KINOSHITA YASUSHI;IKEDA TATSUHIKO
分类号 H01L21/76;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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