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发明名称 ETCHING OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04323827(A) 申请公布日期 1992.11.13
申请号 JP19910119514 申请日期 1991.04.23
申请人 HONDA MOTOR CO LTD 发明人 SAITO KICHIZO
分类号 H01L21/308 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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