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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFUER
摘要
申请公布号 DE4215001(A1) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 DE19924215001 申请日期 1992.05.06
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MOTONAMI, KAORU, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;H01L29/417 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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