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发明名称 LIQUID CONTROL DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04323534(A) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 JP19910118122 申请日期 1991.04.22
申请人 TOKICO LTD 发明人 TAKAIWA SATOSHI
分类号 G01N1/10;G03F7/30;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G01N1/10
代理机构 代理人
主权项
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