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发明名称
DEPOSITED FILM FORMING EQUIPMENT BY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号
JPH04323378(A)
申请公布日期
1992.11.12
申请号
JP19910117840
申请日期
1991.04.23
申请人
CANON INC
发明人
YAMAMURA MASATERU
分类号
C23C16/50;G03G5/08;G03G5/082;H01L21/205
主分类号
C23C16/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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