发明名称 DEPOSITED FILM FORMING EQUIPMENT BY PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 JPH04323378(A) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 JP19910117840 申请日期 1991.04.23
申请人 CANON INC 发明人 YAMAMURA MASATERU
分类号 C23C16/50;G03G5/08;G03G5/082;H01L21/205 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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