| 发明名称 |
FORMATION OF MULTILAYER FILM AND ITS FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04323362(A) |
申请公布日期 |
1992.11.12 |
| 申请号 |
JP19910088366 |
申请日期 |
1991.04.19 |
| 申请人 |
ULVAC JAPAN LTD |
发明人 |
UKISHIMA YOSHIYUKI;ONO SHINICHI;MASUDA YUKIO |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/24;C23C14/56;H01L21/31;H01L21/312 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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