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发明名称 INSPECTING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04322442(A) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 JP19910119441 申请日期 1991.04.22
申请人 SHARP CORP 发明人 NAKANO AKIHIKO
分类号 H01L21/66;G01N1/28;G01N1/32;G01N21/88;G01R31/308;H01L21/00 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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