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发明名称 ETCHING METHOD FOR COPPER FILM
摘要
申请公布号 JPH04322425(A) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 JP19910091917 申请日期 1991.04.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ARIKADO TSUNETOSHI;OKANO HARUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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