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发明名称 SPUTTERING METHOD FOR THIN OXIDE SUPERCONDUCTING FILM
摘要
申请公布号 JPH04323367(A) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 JP19910116690 申请日期 1991.04.22
申请人 ANELVA CORP 发明人 HIRATA KAZUO
分类号 C23C14/08;C23C14/34;C30B23/08;H01B12/06;H01L39/24 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
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