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发明名称 VORRICHTUNG ZUR BILDERKENNUNG
摘要
申请公布号 DE4214968(A1) 申请公布日期 1992.11.12
申请号 DE19924214968 申请日期 1992.05.06
申请人 ROHM CO. LTD., KYOTO, JP 发明人 KONDOU, YASUKAZU;HIKITA, HIROAKI, KYOTO, JP
分类号 G01B11/00;G01B11/24;G01R31/308;G06T7/00;H01L21/66 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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