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发明名称 PROTECTIVE COATING OF THE SICXNYOZHT-TYPE OBTAINED BY PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号 EP0289402(B1) 申请公布日期 1992.11.11
申请号 EP19880400974 申请日期 1988.04.21
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 BONET, CLAUDE;COEURET, FRANCOIS;NOWAK, SYLVIE;GAUTHIER, JEAN-MARIE
分类号 B28B11/04;B05D1/02;B05D1/06;C08J7/00;C08J7/04;C08J7/06;C09D1/00;C09D4/00;C23C14/06;C23C16/00;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/511;H01L21/318 主分类号 B28B11/04
代理机构 代理人
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