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发明名称 ROUGH AND FINE POSITIONING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04320504(A) 申请公布日期 1992.11.11
申请号 JP19910088731 申请日期 1991.04.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SAKUTA SHIGERU
分类号 G05B19/19;G05D3/12 主分类号 G05B19/19
代理机构 代理人
主权项
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