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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF EPITAXIAL WAFER
摘要
申请公布号
JPH04320326(A)
申请公布日期
1992.11.11
申请号
JP19910088726
申请日期
1991.04.19
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
KAMAKURA TAKANOBU;HISATOMI KIYOSHI;MATSUSHITA YOSHIAKI;SAITO YOSHIHIKO;YAMASHITA YOJI
分类号
C30B25/02;H01L21/205
主分类号
C30B25/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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