发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04321244(A) 申请公布日期 1992.11.11
申请号 JP19910090210 申请日期 1991.04.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAUCHI TOSHIHARU;KOYAMA YUTAKA
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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