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发明名称 PROBING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04320969(A) 申请公布日期 1992.11.11
申请号 JP19910003007 申请日期 1991.01.16
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 TAKAHASHI MASASHI
分类号 G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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