制取硅单晶的设备

摘要

一种硅单晶的制取设备，其中一个在其下部形成有至少一个贯穿小孔的分离构件设置在一个旋转石英坩锅内使之包围住一个旋转拉出的大圆柱形硅单晶。分隔构件的全部或一部分由泡沫石英玻璃制成。这种泡沫石英玻璃的气泡含量(体积百分比)在0.01％与15％之间，或者是小于0.01％、但通过用于熔化硅原料的热提高到0.01％至15％。因此，防止跟分隔构件内侧接触的熔融物料降低温度，并防止熔融物料在此部位上凝固。

主权项

1.一种制取硅单晶的设备，其中盛装熔融硅料的旋转石英坩锅被其上形成有至少一个贯穿小孔的分隔构件以这样的方式分开，使旋转拉出的、直径为12-30厘米的大圆柱形硅单晶被该分隔构件包围着，并且，在硅原料连续地馈送到所述分隔构件的外侧的同时，所述熔融物料可以平稳地移动，所述硅单晶在所述分隔构件内部生长，其改进之处在于所述分隔构件的全部或一部分由泡沫石英玻璃制成，所述分隔构件的泡沫石英玻璃部分由气泡含量(体积百分比)不小于0.01％和不大于15％的泡沫石英玻璃制成。