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发明名称
ACTUATOR FOR PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号
JPH04320918(A)
申请公布日期
1992.11.11
申请号
JP19910088613
申请日期
1991.04.19
申请人
OLYMPUS OPTICAL CO LTD
发明人
KAJIMURA HIROSHI
分类号
G01B7/34;G01B21/30
主分类号
G01B7/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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