发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04320367(A) 申请公布日期 1992.11.11
申请号 JP19910087981 申请日期 1991.04.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIMURA MASAHIDE;SUZUKI NORIYUKI;KANAZAWA KENICHI
分类号 H01L21/8234;H01L21/336;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/115;H01L29/78 主分类号 H01L21/8234
代理机构 代理人
主权项
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