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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04320336(A) 申请公布日期 1992.11.11
申请号 JP19910113656 申请日期 1991.04.19
申请人 SEKIYU SANGYO KASSEIKA CENTER;NIKKO KYODO CO LTD 发明人 OOKUBO TOMOYUKI;SAWATO HIRONOBU
分类号 H01L21/308;H01S5/00 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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