发明名称 METHOD FOR REMOVING PHOTORESIST AND OTHER ATTACHED MATERIAL FROM SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH04318854(A) 申请公布日期 1992.11.10
申请号 JP19920018905 申请日期 1992.02.04
申请人 APPLIED PHOTONICS RES INC 发明人 FURADEIMIIRU SUTAROFU
分类号 G03F7/42 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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