发明名称 DUT SUBSTRATE ATTACHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH04319678(A) 申请公布日期 1992.11.10
申请号 JP19910318363 申请日期 1991.11.06
申请人 KURIDENSU SYST CORP 发明人 RONARUDO DEII PAAMENTAA
分类号 G01R31/26;G01R1/04;G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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