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发明名称 SPUTTER-TYPE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH04319240(A) 申请公布日期 1992.11.10
申请号 JP19910085542 申请日期 1991.04.17
申请人 ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD 发明人 KUMAMOTO MASATOSHI;KUWABARA HAJIME
分类号 C23C14/34;C23C14/46;C23C14/48;H01J27/08;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/18;H01J37/317;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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