发明名称 GROWTH METHOD FOR COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH04318922(A) 申请公布日期 1992.11.10
申请号 JP19910085313 申请日期 1991.04.17
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KIMURA HIROYA;SHIMAZU MITSURU;KOUKADO KOUICHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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