| 发明名称 |
METHOD FOR DISPLAYING DATA ON INSPECTION OF FOREIGN MATTER IN MAP FORM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04318949(A) |
申请公布日期 |
1992.11.10 |
| 申请号 |
JP19910112367 |
申请日期 |
1991.04.17 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
KAMIKO YOSHIO;NEMOTO RYOJI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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