发明名称 METHOD AND DEVICE FOR EPITAXIAL GROWTH BY MOLECULAR BEAM
摘要
申请公布号 JPH04317495(A) 申请公布日期 1992.11.09
申请号 JP19910082351 申请日期 1991.04.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO TETSUO;MURAKAMI SATOSHI;NISHINO HIROSHI;SAKACHI YOICHIRO
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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