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发明名称
FORMATION OF WAFER FOR CALIBRATION OF INSPECTING APPARATUS FOR SURFACE CONTAMINATION OF WAFER
摘要
申请公布号
JPH04317352(A)
申请公布日期
1992.11.09
申请号
JP19910084892
申请日期
1991.04.17
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
HIRAI ATSUSHI
分类号
H01L21/66;H01L21/027
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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