| 发明名称 |
REACTIVE GAS PRETREATING CVD METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04318173(A) |
申请公布日期 |
1992.11.09 |
| 申请号 |
JP19910085546 |
申请日期 |
1991.04.17 |
| 申请人 |
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD |
发明人 |
TAKAHASHI KATSUMI;UMEDA JUJIRO;SHINOHARA JOSHI;SASA TADASHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/27;C23C16/32;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/511 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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