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发明名称 METHOD OF CONTACTLESS MEASUREMENT OF SEMICONDUCTOR FILM RESISTIVITY
摘要
申请公布号 RU1774283(C) 申请公布日期 1992.11.07
申请号 SU19904849618 申请日期 1990.05.28
申请人 VNI TSENTR PO IZUCHENIYU SVOJSTV POVERKHNOSTI VAKUUMA 发明人 ANUFRIEV ALEKSANDR N,SU;GASANOV ADOLF A,SU;TITOV MIKHAIL N,SU;FILIMONOV ARKADIJ S,SU
分类号 G01R27/02 主分类号 G01R27/02
代理机构 代理人
主权项
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