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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0469412(B2) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19830240771 申请日期 1983.12.20
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INC 发明人 TATSUO NAKATO;JON TEII ANDORYUUSU;MAAKU JII BITSUJIRO
分类号 G03F7/26;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
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