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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04316332(A) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19910082783 申请日期 1991.04.16
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SAITO YASUNOBU
分类号 H01L21/302;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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