发明名称 PLASMA REACTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04314863(A) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19910108865 申请日期 1991.04.11
申请人 MITSUTOYO CORP;SHOWA SHINKU:KK 发明人 MAEDA FUJIO;KIRIYAMA YUKO
分类号 C23C14/24;C23C16/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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