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经营范围
发明名称
PLASMA REACTION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04314863(A)
申请公布日期
1992.11.06
申请号
JP19910108865
申请日期
1991.04.11
申请人
MITSUTOYO CORP;SHOWA SHINKU:KK
发明人
MAEDA FUJIO;KIRIYAMA YUKO
分类号
C23C14/24;C23C16/00;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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