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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH04315753(A) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19910061967 申请日期 1991.03.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YASUNAGA MASASHI;FUJISHITA NAOMITSU;SHONO KAZUHIRO
分类号 H01J27/08;H01J27/04;H01J37/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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