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发明名称 METHOD OF FLATTENING INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH04315455(A) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19910082172 申请日期 1991.04.15
申请人 NEC CORP 发明人 NAMITA HIROMITSU
分类号 H01L21/306;H01L21/268;H01L21/768 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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