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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04315440(A) 申请公布日期 1992.11.06
申请号 JP19910082347 申请日期 1991.04.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIRAHATA MASAYOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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