| 发明名称 |
CONVEYANCE APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04313212(A) |
申请公布日期 |
1992.11.05 |
| 申请号 |
JP19910071329 |
申请日期 |
1991.04.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KASUGA HIROYUKI;SHIBATA KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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