METHOD AND APPARATUS FOR SCREENING ELECTRONIC COMPONENTS,申请号JP19910078794-传众专利搜索

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发明名称	METHOD AND APPARATUS FOR SCREENING ELECTRONIC COMPONENTS
摘要
申请公布号	JPH04313251(A)	申请公布日期	1992.11.05
申请号	JP19910078794	申请日期	1991.04.11
申请人	HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD	发明人	NAKAGAWA KIYOSHI;IDE AKIMIKI;KONO FUKASHI;ANDO TAKAYUKI
分类号	G01R31/26;H01L21/66	主分类号	G01R31/26
代理机构		代理人
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