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发明名称
摘要
申请公布号 JPH04506336(A) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 JP19900510662 申请日期 1990.07.04
申请人 发明人
分类号 C01B13/14;C01G1/00;C23C4/10;C23C4/18;H01B12/00;H01B13/00;H01L39/24 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
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