发明名称 CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04313227(A) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 JP19910078793 申请日期 1991.04.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAMOTO SATORU;NAKAGAWA KIYOSHI;YUI HAJIME
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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